这是一条很好的营销路线:选择一个强有力的、简单的信息，并加强它，而不是把它砸到你的潜在客户的脸上。你想要指挥别人的行动，而不让他们觉得自己是被指挥的。

大多数会议都充斥着不和谐的信息。有人问过我很多次:“你在(你的会议)上看到了什么?”我有时会找不到答案，因为我看到了太多不同的东西。当然，大多数会议都是由组织举办的，他们的利益仅仅在于举办会议，所以信息实际上来自参展商或演讲者，组织者试图统一主题的努力充其量也就是乏善可。

我只参加过几个公共平台联盟(CPA)技术论坛，而且，像许多供应商拥有的会议一样，有更好的内容控制和对齐。但直到今年的活动，我才意识到这种信息传递对我来说是多么透明——而且不是一种糟糕的方式。我离开的时候想，“啊哈，这就是他们的潜在客户一直在问的问题。”

去年，他们显然受到了gate-first / gate-last问题，所有的信息都是一致的，以证明他们的技术是有效的，并且可以用于生产。今年，我推测，他们的潜在客户会问，“好吧，这个问题已经过去了。但你真的有未来的路线图吗?”所以今年的活动都是关于14纳米及以上的技术。

许多基本的覆盖是由CPA三角形的IBM一方提供的。虽然路线图中涉及的许多元素都是我们已经在这里讨论过的项目，但我们采用的是一种散点的方法，而这些会议会议提供了更多的概述，将各种技术置于透视之中。还有一些我们还没有涉及的部分，我们将需要在它们从实验室中出现时进行介绍。

Gary Patton主题演讲的主题范围包括芯片和封装，我在这里将重点关注芯片方面，从主题演讲和下午更详细的演讲中提取。

在关于设备的讨论中，最明显的话题集中在光刻上，因为这是打印东西的方式，也是很多不确定性所在。在14nm节点，每个人都是希望为EUV在适当的地方。它缩短了曝光波长，以至于现在使用的许多技巧都不再需要了，但它改变了关于口罩曝光的一切——这是进化或增量变化的对立面。

EUV很可能会像我们所希望的那样发挥作用，但是，正如我们所看到的，没有人完全指望它。备选方案从所谓的侧壁图像转移(SIT)方法开始，该方法通过单次曝光获得线倍增器，然后转向全开多模式．此外，通过采用自对齐工艺，消除了孔周围的大部分“土地”，可以节省更多的空间。

当我们超越14nm时，像定向自组装图案转移正在被探索，作为在大批量生产环境中创建更精细图案的额外方法。

从器件路线图的角度来看，我们从完全耗尽的器件开始，IBM继续支持平面晶体管。它在绝缘体上的硅(SOI)环境中特别有效，但对于大块硅也有好处。

当然，最被认可的下一步是把边缘设备变成一个FinFET或者多栅极晶体管。这个想法是通过在原来的顶部加一个栅极来更好地控制静电和底部，现在只是两面因为它的边缘被翻转了。这样做的话，它就是一个双栅极设备(鳍的两侧);如果鳍的顶部有一个薄薄的氧化盖，上面还有栅极，那就是一个三栅极装置。

这实际上是从栅极只控制通道一侧(平面晶体管的顶部)的晶体管迁移的一部分。finfet把它带到两个或三个面;下一个明显的步骤是硅纳米线，因为现在你可以用栅极完全包围通道，控制所有的边gate-all-around(棉酚)配置。

替代的材料硅也在考虑之中，尽管我们之前没有听说过。III/V材料对于非场效应管尤其有前景;锗或SiGe可以满足pfet的要求。

除此之外，我们进入了碳的领域。人们对石墨烯很感兴趣，但是，由于它是单层的，没有带隙，所以它不能用于开关:它的前景更多地在于射频领域。将石墨烯卷成碳纳米管产生所需的带隙，这是数字逻辑的预期方向。

另一个值得关注的主要领域是互联互通。一个有点令人惊讶的变化是，降维不再像以前那样做了。过去是这样的，通过缩小所有的东西，你可以在晶圆片上填入更多的东西和你可以得到更好的表现。然而，在最激进的技术中，情况不再是这样了。

导线越细，电阻越大，电流密度也越大。导线间电容增大。较大的R和C无助于控制延迟。IBM正在研究低?缓解这种情况的材料。

与此同时，还有可靠性和整体强度方面的机械问题:这些新材料本身的机械性能不如旧的经过验证的材料。这真的是一个材料堆叠工程游戏，种子层有助于更牢固地粘合材料，并更好地转移不匹配应力。同样，封盖材料可以确保主导电材料保持不变，不会迁移到覆盖它的电介质中。

线与线之间的泄漏也是一个问题，主要是由于晶圆“损坏”或化学机械抛光(CMP)等工艺步骤造成的缺陷。特别是IBM正在尝试优化这些流程步骤，以减少此类泄漏的机会。

在某种程度上，所有这些都变得难以管理，而且光子学进入画面。从字面上讲，这涉及到在单个“导体”上以不同频率复用多个信号的能力，在目的地将它们分离，然后转换回电信号。所有这些都需要技术的发展才能发挥作用。

这就是结果。CPA有一个路线图，就是这个。这并不是说他们的做法与你从别人那里听到的有什么根本不同;他们只是想确保每个人都明白他们在游戏中，就像你能想到的任何其他铸造厂一样。如果他们可以选择你会从这篇文章中得到什么，那很可能就是这个。

当然，制定路线图很容易。实施它们是一件痛苦的事情……

(通用平台联盟并不是14nm的唯一归宿公开发表讲话...）

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