给定技术节点上使用的模式类型是逐层确定的。在10nm处,SADP据Mentor公司的大卫·阿伯克龙比(David Abercrombie)介绍,该产品计划用于金属,但隐形眼镜看起来需要三层图案。
我们讲过乐乐着色在此之前,存在以线性缩放自动给电路上色的算法——两倍大的电路需要两倍的时间来上色。但当你研究LELELE时,它不再是线性的:它是np完备的。除了要着色的30个特征之外,算法在一生中是不可能完成的。
所以着色算法是用启发式和约束来代替的。例如,人们通常认为更好地平衡颜色,使每种颜色上的特征数量大致相同。这样就排除了无数不符合条件的分解。
还有一些人担心,不同的分解可能有不同的岩石效应。目前还不知道这是否会成为一个问题,但这肯定会使问题复杂化,因为算法现在必须将平版印刷畸变发挥作用——就好像它还没有足够的考虑一样。