我们最近看了一本小说所使用的方法播放器产生足够的光子EUV光刻。就在上周,有一个会议EUV人更新他们的最新结果。我和奥利维尔Semprez播放器报道什么。

这里的目标是提供足够的能量来处理60片/人力资源。到100 W至少有60%的工作周期。

工作周期的问题来自于物流的晶圆。扫描仪将扫描整个晶圆而暴露,然后需要搬到一个新行,或者一个新的晶片。光子可以“被忽视的”在这过渡(也许应该使用任意次幂在那段时间是浪费)。所以工作周期是指的时间源和诅咒的,和源的目标是能够维持60%的工作周期。

事实证明,而垂直距离有一些具体问题,需要给源时不时休息一下,自民党的设置可以连续运行几个小时。所以工作周期不是一个问题。

具体地说,他们在100%的关税周期达到30 W。他们也有37%和50%的关税周期。哇!等待,我以为我们只是说工作周期不重要?好吧,它不会随着光子的一代。显然,没关系就测量他们而言——他们必须给传感器休息所以他们不燃烧。

他们还发现交付的稳定剂是在规格内。

与此同时,他们计划示范50 W的今年年底。

当然,一个显而易见的问题是,他们是如何从30到100 W ?有三个元素:

• 更快的激光脉冲(这也意味着运行车轮更快更快地补充锡)
• 一个更高的电源
• 显然更好的冷却,尽管当前冷却设置应该足够100 W;在某种程度上,如果他们想要超过,他们将需要做出一些改变。

当然,他们还需要弄清楚如何衡量这个…

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