好像是有这个伟大的党来了,每个人都正在以惊人的速度,确保所有的细节都在最好的聚会。和强调的是一些神奇的蛋糕,每个人都听到。我们叫它一个极端超天鹅绒蛋糕。
这个蛋糕是如此的特别,一切都需要改变。餐具必须换出,这样没有表面离子污染的味道。菜必须做的最完美的反光材料,而不是水晶,这样你的眼睛在微妙的碎屑从尽可能多的角度。
那些已被安置了一百万其他细节。但只有一个问题:蛋糕在哪里?我们一直在等待蛋糕一段时间现在,党已经推迟了几次。少数人有样本,他们发誓它的一切承诺,但扩展这个神奇的糕点饲料所需的大小越来越饿了社交常客已经证明比预期的更困难。
,在今年的学报得病的会议上,脸上似乎只是一段时间。你可以感受到怀疑侵入:蛋糕会出现吗?后还是会到得晚了,每个人都放弃,并下令派呢?
我们公司在过去几年看着Cymer报告他们的研究结果。如果数字可信,他们领导烘烤大赛迄今为止(虽然好像数字应该被谨慎地在这个厨房),但他们已经从50 W 55 W在过去的一年,如果纯粹的力量就是你衡量。提醒一下,100 W已大批量生产的最低限度的目标。
将会注意到,许多我们报道的其他重要问题最后一次有所改善,至少对Cymer:
- 在40 W,剂量稳定现在低于0.2%(不应该是剂量不稳定在一个低号码吗?)
- 这是六个小时的运行(每运行一个很多)的总墙时间8.5小时
- 责任周期100%死亡,92%在一个晶片(时间步的差距——注意,是权力上升,曝光时间会下降,而步时间保持不变,这意味着责任周期会减少与增加功率);有很多模拟交通时间之间的时间间隔变长作为一个出口和一个新的输入。换句话说,没有停顿只是机器本身的冷却或捕捉其呼吸(这期间肯定会做步进和inter-lot优惠)。
- 196年等效圆片曝光了99.99%
- 在55 W,收益率在97.5%一小时运行
- 可用性已经达到或超过65%在过去的三个月(这实际上是有点低于上次报告的70%)
- 所有这是完成新收集器保护;上面的收藏家,他们继续轰炸750亿脉冲和继续生活——这相当于约8个月没有损失的反射率。
换句话说,前50 W报道现在50 W(好吧,55 W)的大部分过程稳定平滑。可以希望减少问题出现权力增加,但显然55 W数字,比40 W,反应了一定的事实,没有额外的挑战更高的权力可能不来。
但是…所有的除了…问题是:我们什么时候去100 W ?事实上,Cymer是针对250 W作为一个现实的目标(而不是一个最低限度的数量)。如前所述,有两种方法:增加激光功率和转换效率。
对驱动激光,目前15 kW, Cymer将针对80 W功率与24-kW激光,125 W 31-kW光束,将使用43千瓦到250 W。这最后一步还需要他们从目前2%的转换效率为3%。我不清楚,如果他们知道他们会怎么做。并请注意,没有与这些里程碑相关日期。2013年250 W肯定不会发生。
所以,是的,有用的进步在过去的一年。尽管如此,看各种演讲和听力的一些与会者之间的讨论中,情绪是显而易见的:我们事实上会吃蛋糕吗?
