这很有趣,因为所有事情硅萎缩,我们期待的替代品,我们习惯于听到碳作为常规材料,但总是以石墨烯的形式或管。作为钻石,它似乎完全陌生。然而,这基本上是相同的东西。
然后我看到一个新闻发布会上对元素六在钻石用于EUV扩大生产。钻石因素如何EUV完全不明显对我(嗯,直到我有跟他们讨论然后重读释放)。我困惑的是钻石的一部分(至少好的)是透明的,然而EUV系统不使用眼镜或任何其他递送的光学;反射的EUV能量引导——都是镜子。
钻石在哪里来的呢?为什么如此“昂贵”的东西呢?(要绕过整个市场控制问题…)我们不参与也可能认为人工工业钻石是由创建模拟天然钻石的条件:高温和压力。
但是有很多比这更多的选择。元素六(不,他们不与德比尔斯:他们是戴比尔斯的一部分)拥有无数的钻石为不同的应用程序。是的,大的单晶片使用高温/压力的方法,但也粗燕麦粉和高纯多晶钻石。
的用于EUV使用CVD生长通过创建一个等离子体甲烷和氢气,甲烷分解释放碳。这些人特别纯粹。他们重要的属性EUV,根据元素六,他们有任何room-temp固体的导热系数最高,他们可以通过广泛的频率没有透镜和畸变。
那么,这是否适合EUV照片吗?不,不是在实际的EUV交付部分:在有限公司2激光本身的laser-produced等离子体(垂直距离)系统。它形成的windows激光传播,包括激光腔的输出耦合器、运输路径,包括最后一个窗口的子系统。其他材料往往打破8千瓦左右;钻石可以处理兆瓦,所以它是唯一的材料,实际上可以在这个应用程序中使用。
生产的增加可能会反映出信心EUV系统将影响他们的步伐数量和生产“体积”…
如果你希望看到更多关于他们的具体声明,你可以找到他们释放。
