仿真就是使用尽可能简单的建模技术，以提供足够的精度使结果有用。简单通常可以加速模拟，并且在许多情况下，首先使问题易于处理。

但是在某些时候，建模抽象所隐藏的不必要的细节就变得必要了。在这个阶段，如果你幸运的话，你可以调整你的建模技术来考虑现在重要的效果。但最终你可能不得不采取一种新的方法。

这就是考凡特的特定过程所发生的SEMulator3D工具模型。他们的体素方法仍然适用于大多数工艺，但不能捕捉多蚀刻和选择性外延工艺的所有细微差别。例如，在多蚀刻中，多个材料在一个步骤中被蚀刻，垂直蚀刻率对体素很好，但它们不能捕获横向偏差。对于选择性外延，晶体取向会影响生长速率;同样，这不能很好地用体素建模。

所以他们增加了一个“表面进化”选项——一种完全不同的数学方法来建模这些过程。它处理多重蚀刻，改进了他们去年引入的外延建模，还引入了再沉积(蚀刻导致蚀刻材料在其他地方沉积，特别是用于侧壁)和溅射。

他们还引入了虚拟计量功能，反映了通常内置在物理制造线上的在线工艺计量。这允许在模拟过程中监测关键参数，就像在真实晶圆厂中实际在物理晶圆上进行模拟实验一样。

你可以找到更多关于最新的SEMulator3D版本，他们说这是他们做过的最大的版本，在他们的公告．

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