Coventor最近发布的新版本SEMulator 3 d。我们看了这个工具之前;它是他们所谓的虚拟制造平台,有助于模拟半导体过程。
出现在这个升级是一个提高建模的所谓pattern-dependent腐蚀的影响。换句话说,一个蚀刻收益如何在一个地方取决于。显然,更远的地方寻找更精确的仿真结果,所以,在这个版本中,他们增加了半径,它定义了该地区或社区评估在评估当地的布局是什么样子。
他们也加速腐蚀模拟。
与此同时,他们更全面产品化的现有功能。一个是结构搜索功能。这允许用户找到一个特定的结构在所有的各种模型。这可能特别有用,例如,当你学习一些特殊的yield-impacting配置,想要找出哪些模型影响。
其他与他们Expeditor工具,它实际上是一个实验设计助理。旧版本作为spreadsheet-and-command-line工具。这是伟大的核心思想“gui”用户。但是,显然,思想也想使用它,因此新版本特性全面gui化版本。
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