前阵子Micralyne宣布MEMS引用的过程。有几个跑:试图实现——或者至少掌握一个标准的过程,可以解决广泛的MEMS器件。

Micralyne的大部分过程保密,/他们的客户关系,在典型MEMS的风格。他们所做的就是采取“中性”的改进版本,打开它。他们不确定,客户只会排队和使用这一过程完全在大批量生产,但至少这是一个对话的开始和一个方式来显示他们的能力没有泄露秘密。

Micralyne的力量主要是光学MEMS:镜子和梳子驱动器等。这些特征在他们的过程,但为了更一般,他们添加了一些惯性设备,像一个两轴(但不是硬件)加速度计和陀螺仪,以及一些生物医学设备。

这是一个two-wafer过程(加上处理);蛀牙蚀刻到基地晶片,晶片顶部;晶片顶部倒和熔结晶片底部,之后top-wafer删除处理。从顶部,释放,然后执行金属是放下。这种金属一步有关特别是给镜子反射面。

完全不谈,在光学功能的讨论,有反复提到“hitless”功能的镜子。我真的很难发现这是什么意思,和谈话Micralyne帮助澄清。对任何的人,像我一样,不沉浸在光,这是一种改变光路由在一个光开关而不干扰其他频道。

这是一个简单的概念。下面我给一个场景与各种纤维被路由到其他纤维通过金镜子。特别是,纤维3路线纤维1(移动从下到上)。假设我们想重新路由,所以纤维3现在路线纤维6。如果我们只是把镜子,然后从纤维光流三会干扰其他接收通道作为它扫描(我试图说明在右边,与星表明随着光束干涉;在特定的时刻,它是由它只要目标纤维4 6)。

hitless想法是你先简单的倾斜镜正交的方向,它不再是针对接收纤维。你可以扫描到新的目标;光现在正下梁和不干涉。一旦在新的位置,然后把梁回到其正常工作位置和连接(没有干扰到其他人)。

你可以找到更多的信息在他们的释放和白皮书。

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