不久前,MEMS咨询公司AMFitzgerald和MEMS代工公司Silex分别宣布了他们的计划。RocketMEMS计划,以采取措施加快MEMS以缓慢著称的设计周期。在最近的MEMS执行大会上,他们宣布了这项工作的第一批成果。
他们设计了三个压力传感器:一个用于血压/医疗,一个用于高度计,一个用于工业。至关重要的是,Silex提供了设计指导来推动设计。虽然这似乎是显而易见的,但这与通常发生的情况相反,在这种情况下,设计师会告诉代工他们想要的工艺细节外观。因此,设计工作的机会更大,因为这个过程已经被描述了。
设计人员使用Ansys,SoftMems和坦纳工具。DRC是手动的(因为没有自动化的MEMS DRC工具,尽管如果有人想要升级,显然可以使用钩子…)
结果吗?第一块硅起作用了。从设计到制造只花了7个月的时间;晶圆和封装级测试又花了一个月的时间。
在这个模型中,他们的客户负责包装(设计和组装)和传感器算法,所以这不是项目的一部分。
这似乎验证了MEMS设计可以在不到五年的时间内实现的概念。
你可以在他们的公告.