我们上次和Cymer谈话时，他们刚刚宣布了他们的前脉冲用激光从液滴中获取更多能量的技术。他们实现了50瓦的输出。

这只是生产所需的一半，在当时，这是一个“开环”的结果。也就是说，这不是可以在生产环境中反复出现的内容。

在我与Semicon West公司的讨论中，他们现在有50个W在持续的闭环基础上工作(持续5小时)。他们在短开环脉冲中达到了90w。

但是，除了简单的功率之外，还有许多其他的特性对生产的可行性很重要。

• 负载循环:系统运行一段时间后，温度升高。字面上。由于这个原因和其他一些原因，他们不得不让机器休息一下，否则电力就会停止。现在他们在40%的负载循环下运行;他们正在努力使其(接近)达到100%。
• 剂量稳定性:他们5个小时的运行导致90%的骰子的剂量误差小于1%。
• 可用性:如果机器总是停机或需要大量维护，那么这就是一个问题。他们现在声称70%的正常运行时间。
• 集热器寿命:在某些时候，被脉冲轰击后，集热器将开始失去反射率。然后需要更换，这意味着停机时间和成本。到目前为止，他们说他们已经发射了超过300亿个脉冲，没有看到任何反射率下降。

与此同时，提高功率的努力取决于三个独立的因素:输入功率、“转换”效率——脉冲液滴释放了多少输入功率，以及收集器效率。

他们的PrePulse技术满足了他们的第二项要求;他们在这一点上的努力是增加输入功率(他们已经证明高达17千瓦)和提高集热器效率。这发生在他们所谓的“HVM II”模型中，该模型正在进行集成。

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