搀杂剂可以用于存在只是为了他们的兴奋剂。但是现在压力是一个重要方面,这意味着掺杂剂硅原子必须适当大小的比他们的主机。这对p型工作,压应力在哪里。比硅锗,硅压缩,增加空穴迁移率。
n型应该是相反的:拉应力是必要的,这意味着更小的原子掺杂剂。磷和碳都是规模较小的,可以工作。听起来很简单,对吧?
好吧,显然不是这样的。n型掺杂物倾向于迁移,到目前为止增加边境安全没有工作。好吧,开玩笑。关于安全。迁移仍有待解决。
西方在半导体,应用材料公司宣布他们发现了一种方法来创建一个稳定的n型epi层。他们如何管理它,你问?一直问…他们没有告诉。有提到毫秒之前帮助调整任何免疫印迹流浪汉太远了。不管他们设立一个严格的热预算,虽然不是很低,它影响后端互连处理。
细节不谈,如果这都是工作,我们有更多的控制如何优化n型和p型设备的性能。你可以阅读更多的释放。