爱普生最近在IMU领域发布了一系列公告，其中包括一款新的v系列IMU，他们声称这是“世界上最小的IMU”(定义为“陀螺偏差不超过10 dph的高性能IMU中最小的IMU(根据爱普生的研究，截至2013年8月初)”)。那就是10x12x4毫米。
为什么他们不拿自己和硅谷的人比较呢?因为它们的基本感觉元件材料不是硅;它是石英，被称为QMEMS。至少他们制造的陀螺仪是这样的。IMU中的加速器来自其他人;他们没有透露合作伙伴。(他们还说，目前还没有人成功制造出基于石英的加速器。)
那么这些石英是怎么回事呢?石英不就是硅吗2，就像SiO2在硅芯片上?嗯，是也不是。它是SiO2但它是晶体，而芯片上的电介质层不是。他们种植一种特殊的石英晶体——制造过程包括在30米高的高压灭菌器中退火数月。晶体的切割也决定了温度的稳定性。
其优点是高质量(即高Q)，稳定的输出，需要比硅元件更少的调节。事实上，他们说，硅的人有时会使用冗余元素并平均它们来稳定结果。这也不同于Qualtre的这种方法使用一个共振盘:爱普生的元件振动，但不是共振。
当然，就价格而言，它无法与你手机里的陀螺仪竞争。这是一个更高级的版本，用于精度要求较高的地方。他们提到的一个可以利用的应用程序是SATCOM OTM——“移动中”——用于在移动时保持卫星连接。IMU是精细对齐所必需的。
他们还发布了g系列其他工业imu，使用他们的旧技术。与V系列的不同之处在于新的感应元件——他们说他们可以在一个旧的感应元件所需要的空间里装下八个新的感应元件(他们声称旧的感应元件已经非常小了)。它们也不需要像一些大型高性能imu那样的机械隔离或真空室。
您可以在g系列设备上找到更多性能细节在这里，以及V系列在这里．
