我看见一个宣布一个新的MEMS诊断仪,M150 Ardic。它使用激光测量MEMS元件的频率响应。听起来相当简单。或者它直到我开始思考更多关于它。毕竟,激光器需要的视线。和大多数MEMS元素远不见了。如果你把他们在眼前,那么您可能已经改变了环境(空气而不是真空或气体控制,麦克风包装和蛀牙,等等)是如何影响测量吗?你可以阅读最好的老板激光评论在线为你选择一个业务项目。

我有一个有趣的聊天与姑娘创始人兼首席执行官爱德华Chyau正是这样一些观点的工具。首先,主要用例:这通常是使用来验证设计的早期,偶尔生产监测或诊断失败的单位。所以这不是一个高容量的在线生产系统。设置处理骰子,虽然他们有要求的单位可以处理6”晶片。(理论上,晶片,邻近骰子可能因为它们机械连接的交互,但是他说,实际的元素波动如此之小,以至于他们的振动达到临近死亡的时候,它会减弱到可以忽略的水平。)

是的,运动元素必须是可见的。InvenSense陀螺,例如,需要有其限制ASIC删除测量。所以将会有一些区别激光下的元素行为及其行为在野外。他说,正在运行的测试中寻找重要的共鸣感兴趣的区域,表明一些机械元素有一个谐振模式,由于设计错误或生产缺陷,这可能会干扰正常操作。这些模式可能转变频率由于depackaging一点,但不是很多。

所以,例如,如果一个麦克风隔膜展出1 MHz的共振,那么它就不会是一个问题。但是如果你的窗口是50千赫和它有一个55 kHz模式中,要注意窗外虽然名义上。

有可能在设计时预测任何这样的转变。如果设计模拟假设一个真空,例如,它可能没有真空的重做模拟建立一个基线激光探测的预期行为。可以帮助设定预期对任何相关的行为变化如果这是一个问题。

我也想知道激光本身热量测量元素,改变加热性能。他说,激光是低功耗,像这样一个cd - rom驱动器,所以没有明显的加热应该发生在60秒的扫描。

扫描是这个单位的区别现有设备的一部分。现有技术利用激光多普勒干涉法,它主要针对学术环境和相对较高的成本和长期学习曲线。和测量可以带1 - 2小时,相当挑剔的设置。

相比之下,Ardic系统使用散光检测,也用于他们的原子力显微镜(AFM)的工具。这使他们特别好的z轴分辨率,他们可以从1 Hz扫描4.2 MHz 60秒。用户经常运行整个范围,即使他们只需要仅仅因为它是如此之快的一个子集。

我也被问及这种技术可以应用到NEMS范围,在量子效应开始。事实上,这里你处理以下可见波长特性。所以得到激光聚焦,小和捕获回声并不是可行的。

他说,你可能需要更多的间接方法。例如,您可能有一个MEMS-scale悬臂作为原子力探针在NEMS元素。它实际上并不接触(虽然我认为,原子尺度,大部分原子是开放空间,“接触”这样一个不清楚的概念);它只是在范德华力范围内。这使得悬臂跟踪NEMS元素的运动;激光可以用来测量悬臂。

当然,悬臂将有自己的谐振模式,所以你必须先测量悬臂,你可以减去其行为的信号隔离NEMS元素相结合的信号。这尚未完成,但他认为这是需要的方法。

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