随着MEMS和传感器继续进入主流市场,他们获得越来越多的地板和会话空间约定。虽然这通常是flavor-of-the-week的符号,注意在今年的半导体西方出现了,在某种程度上,更旨在把异国口味更像香草。
当我们看了一些MEMS基本知识前一段时间和鸽子的详细一些传感器在globalfoundries西方的半导体MEMS会话提供了更多的市场概述,以及即将到来的几个意见发展技术和制造业的角度来看。
会话开始演讲Yole开发署的JC Eloy提供细节的整个MEMS市场正在上演,与顶级设备和供应商两美元,单位体积。他们今年项目10 b美元市场,复合年增长率14%的速度增长在2010年和2016年之间。有四个特殊的传感器,将占超过50%的2011年约55亿台。毫不奇怪,他们都是通过手机获得的势头。
他们三个是无处不在的动作监测传感器:加速度计、陀螺仪、罗盘。运动检测是超越手机各种各样的设备,包括心脏起搏器和智能弹药(有时优雅地称为“消耗品”)。这三个动作监测传感器也越来越被组装在一个包中,提高集成和易用性。
第四大卖家是MEMS麦克风,这是推动驻极体电容。他们看到智能手机有多个麦克风,将有助于提高声音质量和消除噪声。
智能手机的霸主地位作为机电技术的车辆是由一个幻灯片说明清楚当前的或即将到来的移动内容。其中包括新颖的传感器和平淡的过滤器:
- 体声波滤波器和双工器,压电谐振器的射频过滤和保持传输和接收通道分开
- 射频开关和可变电容器
- 晶体振荡器
- 加速度计、陀螺仪、指南针
- 压力传感器
- 环境光传感器
- 距离探测器
- 硅麦克风
- 前置摄像头
- Micro-display
- CMOS图像传感器
- 自动对焦装置
- 甚至micro-mirror微型投影机
好像这还不够,他们看到其他设备添加到列表中,尽管可能几年。这些包括MEMS micro-speakers;湿度和温度传感器结合有限公司2气体探测器优化室内环境和节约能源,以及其他有毒气体探测器;,尤其是在日本,辐射探测器。
几个会议的报告处理的新方法建立特定的设备。在提出的话题imec是一个关注光学,从CMOS MEMS和规模,最终,通过NEMS全息术。特别是,他们一直在做电子透镜技术,一个用的是创建数码相机变焦镜头,两次常规眼镜的范围的一半大小,在不牺牲质量。
他们基础的锗硅“平台”上提供micro-mirror选项的变焦镜头以及各种各样的其他应用程序。这些镜子可以进行数字控制,在两个位置之一,或在一个模拟的方式,完成对变焦镜头(当然,困难)。镜子可以安排在矩形数组或在一个循环的方式,因为它们是变焦镜头,看起来相当Fresnelesque的安排。他们也可以得到两个轴的倾斜一个额外的自由度的运动。其过程包括MEMS-last CMOS集成,提高密度比其他CMOS集成选项。
与此同时,博世提供了一个数量的项目,我们已经介绍了在其他地方,但他们也金刚石在他们开发的一个新进程创建所需的腔压力传感器。这个腔的标准方法是腐蚀晶片的背面,然后密封anodically-bonded玻璃。可以创建更小的空腔的蚀刻前相反,使用一个阳极过程,创建了多孔硅。烧结步骤然后把不辨东西南北的硅碎片在一起,留下一个空腔。然后外延生长限制一个顶层腔。这个过程是CMOS-friendly,使电路集成在紧腔。
相关的其他演讲更大容量的挑战MEMS制造、MEMS的专业领域。MEMS似乎准备突破,考虑到大量的几个选择设备,但也有很多东西保持的设计和生产的平稳是纯粹的CMOS器件。
GlobalFoundries指着其中一个因素:缺乏标准或共性。MEMS工艺是如此的专业,需要细化,不同的公司将投资独立提出同样的产品使用不同的流程。一切包括包装可以自定义/产品/公司。每个人都几乎是孤军奋战,经常小心翼翼地守卫着自己的秘密,这意味着每个公司分别负责降低其成本。
,最后,每一个公司,当然,负责自己的费用,他们指出许多共性的地方,标准,一个生态系统可以消除他们对CMOS低效率的方式。工艺设计包、标准化的材料在可能的情况下,和共同参考流和流程构建块方法他们建议,随着MEMS进入青春期,可以开发新产品,以更精简的方式批量生产。
Teledyne DALSA了平衡的问题需要大批量生产常用设备一方面更专业的处理之举,高附加值的设备。答案是,他们都应该在同一行。大容量的东西每个人都支付账单和降低成本,而高价值的东西不断推动技术。
可能这样做不能不管,因为会有共性之间的设备使用的两套产品的尖端设备最终将处理更高的体积,降低成本(和MEMS产品可以使用各种各样令人眼花缭乱的工艺和设备,根据是什么了)。GlobalFoundries提出过程收敛,可以,当然,使这一切变得更简单。
最后,国家仪器提供了一个测试平台旨在支持CMOS-MEMS设备测试。数字CMOS测试是最简单的事;模拟是困难,因为刺激和参数可能不同的模拟设备之间完全不同。但MEMS测试更进一步,因为刺激和反应甚至可能不再是电。专用设备通常需要施加一个磁场或做一些声学声音或移动设备以确保它正确响应。
他们提出一个平台,从模块化仪器定制为每个类型的装置,上面层应用程序开发环境,然后上一层测试管理。它包含一个描述设置和生产测试系统,允许早期帮助校准实验室测量和与生产测试。
可以发现在实际的演示半导体西方网站。
