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新型微流控材料突破,实现晶圆级芯片实验室大规模生产

东京- 2013年11月1日- Imec,世界领先的纳米电子研究中心和JSR,领先的材料公司,宣布他们已经成功地使用JSR的创新PA (Photo-patternable Adhesive)材料进行片上实验室设备的晶圆级加工。以PA为关键使能材料,imec已经加工了微流体细胞分拣设备,将微加热器和传感器与晶圆级聚合物微流体融合在一起。PA是一种突破性的材料:同时是一种良好的微流控通道材料和粘合剂,适用于晶圆级工艺和批量生产。

芯片实验室技术将在未来几年推动一场医疗技术革命。它将通过芯片上的分子合成、分离、传感和检测实现强大的即时诊断和治疗。关键是能够以经济有效的方式将微流体与电子、传感器、微加热器和光子学等异构组件集成。为了成功地合并这些元素,需要新的粘结和表面处理材料。

imec生命科学技术研发经理Liesbet Lagae说:“PA解决了我们使用其他材料时遇到的许多问题,比如广泛使用的PDMS(聚二甲基硅氧烷,一种硅基有机聚合物)。”“它具有我们在光控材料中寻找的所有特征,可以在硅片上创建微流控通道,包括良好的通道清晰度和生物相容性。但与此同时,它是一种粘合剂,可以直接与盖板玻璃热粘合。与PDMS不同,它允许晶圆级加工,这是工业大规模生产的先决条件。”

Imec使用PA来处理下一代芯片上的细胞分选实验室。集成了片上成像、流内细胞断层扫描来识别细胞,以及气泡喷射流技术来引导和分类单个细胞,原型片上实验室每秒可以处理多达2000个细胞。这些超快细胞分选器的一个应用设想是检测人类血液中的循环肿瘤细胞。

JSR和imec是半导体技术和材料开发的长期合作伙伴,可以追溯到80年代末。JSR对微流体材料非常感兴趣,从2011年开始与imec合作开发微流体材料。经过两年的研发,包括生物兼容性和工艺兼容性的评估,现在已经为imec的细胞分选机等芯片实验室提供了材料解决方案。imec总裁兼首席执行官Luc Van den hove:“JSR现在也成为生命科学生态系统中的关键材料供应商。JSR和imec将继续为生命科学应用开发材料解决方案。”

JSR首席执行官Nobu Koshiba强调:“大多数应用都面临着选择正确材料和技术的挑战。“我们与imec的合作证明,开放创新是从早期竞争前技术转向开发下一代医疗设备等强大产品的关键。”

关于imec

Imec在纳米电子学方面进行世界领先的研究。Imec将其科学知识与其在ICT、医疗保健和能源领域的全球合作伙伴的创新力量相结合。Imec提供与行业相关的技术解决方案。在独特的高科技环境中,其国际顶尖人才致力于为可持续社会的美好生活提供基石。Imec总部位于比利时鲁汶,并在比利时、荷兰、台湾、美国、中国、印度和日本设有办事处。其员工超过2000人,其中包括650多名工业居民和客座研究人员。2012年,imec的收入(损益表)总计3.2亿欧元。更多关于imec的信息可以在www.imec.be

Imec是Imec国际(一个根据比利时法律成立的法律实体,作为“stichting van openbarar nut”),Imec比利时(Imec vzw由佛兰德政府支持),Imec荷兰(stichting Imec荷兰,霍尔斯特中心的一部分,由荷兰政府支持),Imec台湾(Imec台湾有限公司)和Imec中国(Imec微电子(上海)有限公司)和Imec印度(Imec印度私人有限公司)活动的注册商标。

关于JSR公司

JSR公司是一家跨国公司,在全球拥有超过5000名员工,是各种技术驱动市场的领先材料供应商。JSR的全球网络总部位于日本东京,并在欧洲、美国、中国大陆、台湾、韩国和新加坡设有工厂和办事处。JSR是一个以研究为导向的组织,致力于与多个行业的领先创新者密切合作,这些行业是人类社会当前和未来福利的关键:生命科学、能源储存、合成橡胶、电子材料、显示和光学材料。更多关于JSR公司的信息,请访问www.jsr.co.jp

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