2014年5月20日,加利福尼亚州的苗必达/价值-今天,KLA-Tencor公司(纳斯达克:报收于)宣布了涤纶聚酯纤维™SL650,一个新的分划板质量控制解决方案集成电路晶圆厂,支持20 nm设计节点和超越。与193 nm照明和多个明星光™光学技术,涤纶聚酯纤维SL650提供评估所需的灵敏度和灵活性的分划板质量,监控十字线退化和检测yield-critical十字线缺陷,如薄雾增长或图案和开放地区的污染。此外,涤纶聚酯纤维SL650行业领先的生产吞吐量支持快速周期限定数量的增加所需十字线与先进的多模式技术有关。
“IC制造商,了解十字线状态模式的核心组件过程控制标线质量的变化可以产生毁灭性的影响每一个晶片印刷,“非政府组织Xiong说,博士,副总裁和总经理的分划板产品部门(快速)atKLA-Tencor。”涤纶聚酯纤维SL650,我们的团队已经把最先进的分划板检验技术在一个紧凑的平台适用于IC工厂,生产一种分划板质量控制系统与先进的灵敏度,高生产率和可扩展性为未来的节点。通过监控传入十字线为关键缺陷并确定进步缺陷和面具的变化模式在生产过程中,我们的涤纶聚酯纤维SL650可以帮助芯片制造商保护设备产量、性能和循环时间。”
的涤纶聚酯纤维SL650支持分划板的类型在工厂使用明星光SD™和明星光MD™产生优越的缺陷捕获和全面检查报道单和multi-die十字线,分别。芯片制造商还可以使用创新的明星光地图™技术跟踪十字线恶化随着时间的推移和识别CD,膜厚度、抗反射涂层和其他变化在reticle-changes十字线品质会影响光刻印刷窗口或模式。此外,涤纶聚酯纤维SL650 EUV-compatible,使早期与IC制造商合作颗EUV十字线检验要求。
多个涤纶聚酯纤维SL650十字线检验系统已经安装在铸造,逻辑和内存制造商在全球范围内,他们正在使用的入厂质量检查和re-qualification十字线先进集成电路制造中使用。保持高绩效和生产力要求的尖端生产的涤纶聚酯纤维SL650系统是支持的KLA-Tencor的全球综合服务网络。更多信息在涤纶聚酯纤维SL650十字线检查员可以发现快速IC工厂系列产品页面。
关于KLA-Tencor:
KLA-Tencor公司过程控制和收益管理解决方案的领先供应商,与世界各地的客户合作伙伴开发最先进的检验和计量技术。这些技术服务于半导体、电子电路行业和其他相关领导。投资组合的行业标准产品和一个世界一流的工程师和科学家团队,公司创造了优越的解决方案客户超过35年了。总部设在加州的苗必达,KLA-Tencor专用客户操作和世界各地服务中心。额外的信息可能会被发现http://www.kla-tencor.com(KLAC-P)。
