你可能会认为,一种完整的硅模版新技术值得一个冗长而复杂的故事。然而它并没有那么复杂。(说起来容易……)正在开发的一种很有前途的光刻工艺被称为“纳米压印光刻”(NIL)。可能很难想象这会起作用,但是,就像听起来的那样,它需要取一个母版“印章”,并将其压入液体抗蚀剂中。
然后用紫外线照射硬化抗蚀剂,释放母版。晶圆片上的图案可以指导进一步的标准加工。
最疯狂的是纳米尺度的特征可以用贴纸打印机。你可能会认为,液体可能很难符合模板中如此微小的空洞。您可能认为可能会出现的一些问题——比如模板删除后模式的某些部分会下降或崩溃——确实是正在研究和解决的问题。
目前,研究人员正在研究26nm领域(根据在SPIE Litho上的演示),但他们正试图使用与HGST用于他们的芯片相同的工艺硬盘项目—从主模板创建工作模板。对于那些工作模板来说,质量仍然是一个挑战,这使得它最适合具有大规模重复特征的应用程序,这些应用程序可以为修复提供冗余。
日本印刷公司的发言人说,全面生产的目标是两年后。我们将继续追踪它……如果你拿到SPIE Litho会议记录,你可以在论文8680-2中找到更多。