就好像有一个很棒的派对即将到来，每个人都在以极快的速度工作，以确保所有的细节都到位，使它成为有史以来最好的派对。最精彩的是大家都听说过的美味蛋糕。我们就叫它“极致天鹅绒蛋糕”吧。
这个蛋糕太特别了，一切都需要改变。餐具必须换掉，以免表面离子污染精致的味道。盘子必须由最完美的反光材料制成，而不是水晶，这样你的眼睛才能从尽可能多的角度看到精致的面包屑。
这些和无数其他细节正在准备中。但只有一个问题:蛋糕在哪里?我们已经等蛋糕很久了，而且派对已经推迟了好几次。一些人已经品尝过样品，他们发誓这一切都是承诺的，甚至更多，但是将这种神奇的糕点扩大到必要的大小，以满足越来越饥饿的聚会者，事实证明比预期的要困难得多。
在今年的SPIE Litho会议上，面孔似乎更长了一点。你可以感觉到怀疑在悄悄降临:蛋糕会出现吗?或者会不会太晚了，等到大家都放弃了，点了馅饼?
在过去的几年里，我们看到像Cymer这样的公司公布了他们的业绩。如果数据可信的话，到目前为止，它们在烘焙比赛中处于领先地位(尽管在这个厨房里，似乎应该谨慎看待这些数据)，但如果纯功率是你衡量的标准，它们在去年已经从50瓦上升到55瓦。提醒一下，100w一直是大批量生产的最低目标。
值得注意的是，我们报告的许多其他关键问题最后一次已经有所改善，至少相对于Cymer而言:
- 在40 W时，剂量稳定性现在低于0.2%(不应该是剂量吗?不稳定这个数字很低?)
- 这是在8.5小时的总钻壁时间内进行的六次一小时的钻壁(每次钻一次)
- 一个芯片的占空比为100%，晶圆内的占空比为92%(间隙是阶跃时间-注意，随着功率的增加，曝光时间会下降，而阶跃时间保持不变，这意味着占空比实际上会随着功率的增加而减少);批次之间的间隔较长，以模拟一个批次退出和一个新批次进入时的运输时间。换句话说，没有暂停只是为了让机器本身冷却或喘口气(在步进和间歇休息期间，它肯定会这样做)。
- 196个等效晶圆曝光率为99.99%
- 在55w时，一小时的产率为97.5%
- 过去三个月的可用性达到或超过65%(实际上比上次报告的70%有所下降)。
- 所有这些都是通过新的收集器保护完成的;它们继续轰击收集器，到目前为止超过750亿个脉冲，并且还在继续——这相当于大约8个月的寿命，而反射率没有损失。
换句话说，之前报告的50w现在是50w(好吧，55w)，大部分过程稳定性都得到了平滑处理。人们可以希望，随着功率的增加，出现的问题会越来越少，但显然55w的数字，与40w相比，反映了这样一个事实，即更高的功率可能不会没有额外的挑战。
但是，撇开这些不谈，问题仍然存在:我们什么时候能达到100w ?事实上，Cymer将250w作为一个现实的目标(而不是一个最低的数字)。和以前一样，有两种方法可以做到这一点:增加激光功率和转换效率。
至于驱动激光器，目前的功率为15千瓦，Cymer将用24千瓦的激光器实现80瓦的功率，用31千瓦的光束实现125瓦的功率，并将使用43千瓦的功率达到250瓦。最后一步还要求它们将转换效率从目前的2%提高到3%。我不清楚他们是否知道该怎么做。请注意，这些里程碑没有日期。250w肯定不会在2013年出现。
所以，是的，过去一年取得了有益的进展。然而，看了各种各样的演讲，听了与会者之间的一些讨论，人们的情绪是显而易见的:我们真的能吃到蛋糕吗?
