威尔明顿质量。2020年7月29日消息——Onto Innovation Inc.(纽约证券交易所代码:Onto)今天宣布推出Element材料分析平台，使客户能够监测和控制介质薄膜层，测量硼和磷等掺杂剂，以及监测氢等工艺副产物。Element平台被前三大内存制造商之一选中，用于其先进设备的生产监控。Onto Innovation收到了来自他们几个网站的多个订单，并于2020年第二季度开始首批交付。

“随着Element平台在这些新应用中的采用，我们正在超越我们现有的为裸硅片市场测量杂质和外延厚度的服务市场(SAM)。我们相信薄膜电介质的在线生产监测将使我们的2021年SAM增加约3000万美元，”晶圆事业部副总裁兼总经理Robert Fiordalice说。“我们的客户受益于我们的产品输出，允许他们将材料特性与蚀刻选择性和最终参数收率等集成变量联系起来。我们相信，Element FTIR技术的初始订单表明了材料在线监测的趋势，因为在高级节点中，芯片中使用的半导体材料预计将呈指数级增长。我们的客户路线图显示，在未来五年内，材料监测将增长10倍。”

“高级内存节点需要精确稳定的过程控制，”产品营销高级总监Anoop Somanchi说。“Onto Innovation的新Element FTIR系统是在经过全面的竞争评估后被选中的。这项技术与一流的分析算法相结合，为客户最具挑战性的内存产品捕捉到影响工艺变化的良率。”

关于Onto Innovation公司

Onto Innovation是过程控制领域的领导者，将全球规模与扩展的前沿技术组合相结合，包括:无模式晶圆质量;三维计量横跨芯片特征从纳米级晶体管到大型模具互连;硅片和封装的宏观缺陷检查;金属互连组成;工厂分析;以及用于先进半导体封装的光刻技术。我们在整个半导体价值链上的广泛产品可以帮助我们的客户解决他们最困难的成品率、器件性能、质量和可靠性问题。Onto Innovation致力于优化客户的关键进步路径，使其更智能、更快和更高效。Onto Innovation总部位于马萨诸塞州的威尔明顿，通过全球销售和服务组织为客户提供支持。更多信息可以在www.ontoinnovation.com．

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