本月早些时候,KLA-Tencor发布了他们这个理事会led wi - 2280检验工具。阅读它的所有事情和改善提供,比如增强配方资格和减少安装时间,对于我这样的人谁不花他所有的时间在这个世界上,你开始想…这听起来像很多其他的检验工具。似乎有很多不同的工具。

它让你想知道,为什么一个工具不能仅仅做它吗?阅读2280年做什么,看起来这将是好东西IC。所以我问他们其中之一的“好吧,我真的觉得愚蠢的问这个,但是…”问题,和他们澄清为什么这是不同于其他IC检测工具,它并不打算做什么。

首先,最根本的是,led用蓝宝石衬底,透明。这意味着需要不同的照明与硅片。我想你可能会认为这应该只是一个“设置”或调整在一个更通用的工具。但这将对第二个问题:飞起的成本。缺陷被发现在led 3-5-µm范围,远远大于你所寻找28纳米芯片。不需要负担昂贵的micro-mote检测功能。

还有另一个不太明显的差别。发光二极管通常检查后再切割。“相对”容易检查骰子在晶片——一旦你使晶片,你集。但随着骰子在托盘,每个死可以转移,因此post-slicing所需检验需要单独关注这不是标准ICs。

与此同时,2280的目的是为所有在线检查的晶圆(或晶圆丁)。它不是对抽样(可能使用较慢的,更详细的分析)或检查空白基质。

你可以找到更多的释放。

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