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摒弃了FBAR加载和温度的影响

我们听到的故事不远的将来当我们可以波tricorder-like设备和检测各种物质可能在空气中。传感器可以工作的方法之一是通过一个共鸣箱:当物质吸附在表面上,它改变了质量,从而改变谐振频率。

问题是,然而,温度也会影响频率,其实很难校准系统。使用引用谐振器或一个复杂的软件算法是可行的,但是,根据剑桥的一个团队,谢菲尔德大学,博尔顿和曼彻斯特在英国,韩国庆熙大学,它会让事情更复杂和/或昂贵。

他们已经想出一个戏弄加载和温度效应的方法。它涉及到一个两层结构:2µm氧化锌/ 2µm SiO2。当他们得到这个振动的时候,他们看到两个模式:

  • 有一个基本频率754 MHz和谐波在2.26和3.77 GHz
  • 有一个基本频率为1.44 GHz,下一个谐波在4.34 GHz

第一个模式来自于共振的氧化锌/ SiO相结合2结构;其半波与结合4-µm总体结构的厚度。第二模式结果从氧化锌层本身的半波由2-µm厚度这一层,虽然也受到SiO的影响2负载。

氧化锌和SiO2有积极的热膨胀系数(CTE),所以两层厚的温度上升。但SiO的纵波速度上升2和氧化锌。因此,频率移动相反的方向温度变化:约79.5 ppm / K SiO2对氧化锌和7 ppm / K。

有了这些作为基础数据,现在就有可能deconvolve温度和加载的影响无论如何你想有意义的。

当然,这是一所大学的项目,尽管它看起来像他们将向商业开放。论文全文你可以得到更多的细节,但是它是收费的(事实上,一些;你可以谷歌“双模并行传感薄膜体声波谐振器的温度和质量负载”,选择你最喜欢的一个)。

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