脑部手术是一个复杂的过程。毕竟,他们不叫它“脑部手术”。这不是一个个人画展:这是一个团队操作。某人了…嗯…成熟的你之前带你去。某人要剃掉了一大块。某人必须确保一切都是清洁和无菌。有人给你最后giggly-gas(或其他将送你到昏睡)。有人提供…进入大脑。最后,当一切准备好了,你把那些与她所说的“人才”。
不是说别人没有天赋(就像生产者和才华横溢的作家),但这是专业技能和异常自负的家伙。他知道如何操纵过去这些临界点在你的大脑,不管问题是。她有钢铁般的意志和稳手中。他知道的来龙去脉内部布线,只有他可以缓解神经炸弹没有爆炸。她对待————就像一个摇滚明星。如果有人值得上帝情结,脑外科医生。
现在…你可以支付一个脑外科医生来做整个过程:剃须,麻醉的,brow-mopping——好吧,也许不拖他/她自己的额头,但你懂的。但是这将是非常昂贵和浪费。只有这么多的脑外科医生和许多贫困的大脑。所以价格高和可用性是有限的。
所以你使用它们只在他们的技能是绝对必要的。然后让他们走出房间所以其他人可以放松。
模式集成电路取得了类似的建议。但在我们冲进,一些背景。
我们推动常规光学光刻技术就可以,然后有点远。然后扔在一滴水和推动它除此之外。我们想出了光学修正——有点像光子pre-equalization——并继续推动的事情。像往常一样,可见光区域的光刻的死亡之前宣布它的发生而笑。特别是,它还没有发生。
但是,即将消亡总是刺激下一件事的想法。如果你真的想认真,你要做的第一件事就是提出了一个三个字母的缩写(TLA),每个人——好吧,没有,不是每个人,只有酷人——可以使用。在这一点上,你禁止使用的短语TLA站和使用TLA专门的部落成员,排他性,访问和拥有秘密暴露只对提升者。在这种情况下,您会称之为下一代光刻,立即取代,随着天然气凝析液。所以,为了这篇文章被认真对待,我们今后将坚持纯天然气凝析液的绰号。
的一个明显的早期天然气凝析液的候选人是极端的紫外线:我们现在做同样的事情,只有用较短的波分辨率更好的特性。他们在谈论这个在我上大学的时候。他们还谈论它。好吧,他们也努力,但…假设时间表已经下滑。
另一件事之前他们一直在谈论我在大学是电子束,或电子束光刻技术。或电子提单。也称为无掩模光刻或直接写。
如果你刚开始阅读关于电子束,你可能会立即被自由解释使用的词“列”:这是insider-speak生成所需的设备(或至少聚焦)一个电子束。列静电管理梁处理光束传播的许多可能的来源:球形和色差,排斥力(这些家伙不喜欢打好),电子散射的抵抗(必须是有利于避免电荷累积),等等,单位必须严格控制电子的能量分布,因为没有静电透镜可以集中多个频率(所谓的“消色差透镜,命名的能力集中在同一时间所有的颜色)。列是野兽的心脏。
电子束光刻技术是现今使用的方法来创建,精确的面具用于常规光学光刻技术,但并不是那么普遍用于生产实际的晶片,除了少量。这是一个简单的原因:太讨厌慢。
游戏的名字是晶片每小时,到目前为止,电子束只是不切。当你暴露一个晶片通过一个面具,你整件事情在一个曝光。你有效地使用无限数量的光子流并行。(好吧,如果你认为光子的粒子,它不是严格意义上的无限的,但是如果你认为波,它有效地是。或者,更好的是:只是跟我在这里工作。)
与一个标准的电子束机,你使用一个的电子束,需要扫描整个晶片。在最基本的层面上,你将来回扫描片,打开和关闭电子(“消隐”)根据模式被暴露。电子束非常薄。需要大量的扫描覆盖整个晶片。所以你不完成许多晶片。
有几个方法可以使这个更快。很简单:一个并行使用更多的梁和公开。你会很惊讶的发现,在并行性可以得到:一个百万梁。你可以把多个列在一个单位,然后集群多个单位共同做更多的晶圆(尽管每个单元将工作在不同的晶片)。
其他的办法加快速度并不是扫描,而是直接转到你需要的地方。传统的光栅方法最终做了很多的扫描电子束是关闭的地方:这是浪费时间。新的方法是做“向量”扫描——类似于矢量图形。梁是专门从功能特性。
所有这些帮助,但不够明显,它有助于EBL成为天然气凝析液。
发展这种技术的公司之一,多波束,提出了使用电子提单而不是替代当前的光刻技术,但作为一个补充,调用补充电子提单,或CEBL。我们的想法是搬到一个一维网格互连布局因此,在任何给定的层,金属线水平或垂直,但不能两者兼得。这种摆脱很多绝妙的接触。
金属线本身不容易印刷,但他们可以处理双模式。真正困难的部分是降低接触和通过,以及削减横纹线,可以这么说。你基本上不会有长长的队伍穿过死亡;会有多个特性沿网格线,你可以把它们作为一个长队,然后切割成段。那些艰难的削减部分。
他们可以通过四模式,你能想到的双重模式,只有两倍和两倍多烦人。和昂贵的:为什么使用一个面具四什么时候会做什么?多波束提出这是电子束可以拯救的地方。你所有的其他层正常方式,而且,通过,这些关键接触,和金属切削层,使用电子束机械(他们的)。以这种方式,描述了多波束首席技术官大卫·林博士,他们“不尝试天然气凝析液。“事实上,CEBL过程是“优化切割线和打洞。”
为这些关键步骤使用电子提单不永久删除需要曝光;做电子散射,在将来的某个时候,我们可能需要double-pattern电子提单。但不是现在,我们得到喘息的机会,而且,即使是必要的,至少没有面具;它只是一个过程步骤的事情。
多波束目前正在测试他们的4th代列用于CEBL。他们汇集100列成一个模块,它可以处理每小时5 - 10片。他们可以集群模块一起放弃100片/小时的吞吐量。
这可能仍然是一个夹在这个过程中,但它仍是旨在降低成本低于quadruple-patterning和EBL-only流。它幻想自己大脑外科医生:进来的时候需要精致的手。
更多信息:多波束
同时,林博士说他会呈现的整个过程半导体西方TechXspot在7月。
