它偷偷打我在艺术大师表示今年早些时候由节奏。这是一个“本地连接。“这是我见过第一个这样的引用。*

多年来我一直在思考的硅结构通过通过金属和接触孔连接。这是否意味着一套完全独立的互连金属下面蜿蜒着,在那里窥视或至少我的眼睛看不见吗?(别担心…美国国家安全局知道它的存在…)

,甚至不是一半的侮辱。这里是真正的耻辱的部分:当我开始挖掘,有些人从节奏请(和没有的声音滚动他们的眼睛)转发我一些老材料局部互连(李)。像…从70年代。

嗯…好吧…我记得70年代…(备案,其中大部分期间,我不是一个成年人…我需要救助的一些尊严这种情况!)

当然,我想了一些,我记得保利用来作为底层连接晶体管的关闭元素。“关闭”很重要,因为它是一个高电阻率材料。但现在我听说李有特殊的规则,这是一个新问题。这听起来像无害的小的多聚,我记得(几乎没有)。

这提高了我的问题:这是相同的吗?它不能完全同样的,因为有新的问题。那么是什么改变了?

让我们先回去和审查什么是李。是的,在大多数情况下,芯片包括设备埋在基质(好吧,“埋”对FinFETS不起作用,但没关系…)由金属层和相互联系的。衬底材料构成了“线”的前端和标准金属互连和电介质的“后端。“李,位于衬底和金属,有时被称为“中间线”(摩尔或MeOL…虽然我不确定“中间结束”的概念作品…)。

如果你认为这是一个扩展的使用聚,然后你可能会认为从行尾金属材料是最大的特色。但事实上,这些天,李涉及金属。真正的区别是,李硅直接联系,不经过接触孔。和李的多层重叠互相取得联系,再一次,他们不使用任何干预与通过介质。

金属本身的形式“硅化物”,他们不直接接触硅。我直觉上认为这是一个“软化”的界面,与硅扩散和金属扩散略有创建连接。变化称为“salicides”和“矽化物”不同的他们是如何实现的细节。

使用的金属也可以不同,至少理论上如此。你会发现引用铜、钨、钛、cobolt,这反映了研究虽然不一定用于生产什么。

虽然我来到这个讨论通过节奏,很明显不是人正在推动这个工具;他们只是做他们告诉。(好吧,是这样的,不仅仅是一个简单的扩展,他们已经在做什么,他们可能推回去,问,“你确定你真的将投入生产呢?”然后做他们告诉)。

不,这显然来自于金库过程的人,由IDMs和铸造厂。,后者将是一个明显的地方检查,因为他们所做的事情会影响你很多。所以我联系了台积电和GlobalFoundries。

台积电的回应:“这是非常特定于台积电的过程技术我们将无法发表评论。”

Hoookay…女朋友有点更多的即将到来。这是交易,因为他们解释。

第一,他们指出,李已经使用很长一段时间的记忆。我做了一些搜索和发现基于SRAM的专利SRAM细胞与李1999年提出的。,它看起来相当广泛:他们声称SRAM,其中包括一个“主动结构”和一个大门,与绝缘体之间,和之间的互连运行某种门和活动结构。(是的,我转述。对于任何紧张的律师,请不要误解为无意声称建设…)

它属于一个杰尔。还记得他们吗?(如果你真的记住它们,那么你的答案应该是,“杰尔?”)实际上,它属于(或)属于杰尔系统守护公司谁知道,现在。(甚至是否仍然生效…我想这可能是挑战…)

底线,他们似乎声称任何SRAM李有一块,不管出于什么原因。但有关李的观点是,现在来标准电池,和高- ?金属门(HKMG)是一个大的部分原因。

HKMG,严重限制放置在保利路由。把危机对当地详细的路由,用来做在一个细胞中使用聚(这意味着只是保利的老李),所以这个新方案介绍。没有李是一个问题,因为如果你有后端金属、介质,接触孔,和通过,那么设计规则迫使爆裂的细胞大小。因为李层重叠,细胞可以保持很紧凑。当然,如果你想将李连接到第一层的后端金属,通过通过仍然会发生。

但是很显然,这样做并不是简单的因为需要管理很多权衡GF引用:

——兼容HKMG

——独立的活跃和保利联系的必要性

——高密度路由没有短裤

——优化光刻技术解决方案

——保持低成本

——允许尽可能多的自由度路由

没有严格的定义关于层的数量,但是,至少在GlobalFoundries,他们选定了两个最优。他们说,该行业尝试使用但最终搬到钨铜,因为它允许他们使用更严格的间距规则。

如果这个讨论之后,你想到李像是另一种与灵活性与后端金属层,然后再想想。根据节奏,你只能使用矩形。哪一种意味着没有真正“路由的概念。“不允许有慢跑或弯曲。如果你需要两个一起从这里到那里x和y轴,然后你需要建立一个矩形,得到你想要的地方。

还有其他各种重叠规则是相当复杂的。我想希望任何简单的新这些天有点幼稚…

如果你想知道你是否要与李很快猴子,这取决于你做什么。如果你参与数字设计,然后李可能只会被人使用建筑标准的细胞,你会保持愉快地在RTL-land抽象。自定义和模拟人,另一方面,仍有摆布自己的多边形,所以这真的是更相关。

这就是为什么节奏是艺术大师李讨论处理。这是我们如何进入这个讨论放在第一位。

*,我记得,不管怎样。我想起来了,这是一个非常重要的限定符…

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