亚特兰大,乔治亚州,2023年6月5日- ClassOne设备(classoneequipment.com),宣布了其先进的交付新的Takano WM-10粒子测量系统EUV科技,全球领先的计量设备尖端EUV芯片制造。公告是由ClassOne设备副总裁大卫•pswlak和EUV科技研发副总裁马特Hettermann。
Hettermann说,“在我们的一个关键因素选择新300毫米Takano WM-10系统是其非常高灵敏度粒子检测。对我们来说,粒子敏感性是至关重要的,因为我们使用的是新的Takano工具来验证设备的清洁我们构建——这是一些业内最先进的EUV和软x射线系统。”
“我们有新的WM-10运行在我们的工厂在马丁内斯,加州“Hettermann补充道。”,我们已经看到杰出的表现提供——定期检测粒子48海里。再说,它是配置为处理不仅300 mm晶圆,而且200毫米和150毫米。”
pswlak指出Takano-brand粒子探测系统是最畅销的新工具ClassOne设备产品线。随着一流的检测灵敏度,Takano设备提供高吞吐量、重复性和可靠性,加上一套选项。非常重要的是,系统的价格极具吸引力和容易得到的。这些也是一些原因Takano成为高新replacement-of-choice遗留Surfscan®系统,多年来被粒子检测晶片的行业“标准”。
ClassOne设备来源独家销售,服务和完整的支持Takano-brand粒子探测系统在北美和欧洲。ClassOne维护一组经现场工程师提供安装,Takano经前综合症和其他服务系统。
除了全新Takano系统、ClassOne设备也成屋半导体设备提供了一个广泛的选择,包括许多工具完全翻新、比新式。该公司还提供了成千上万的优质OEM零件,以及设备服务,支持、担保、融资、和更多。都可以被看到classoneequipment.com。为进一步的信息,联系sales@classoneequipment.com。
关于ClassOne设备
总部设在亚特兰大,乔治亚州,ClassOne设备{classoneequipment.com)长期以来一直被称为行业首屈一指的成屋和professionally-refurbished名牌半导体加工设备的供应商,提供的设备性能在新工具成本的一小部分。此外,ClassOne现在卖和完全支持的Takano行全新高性能晶圆粒子检测系统。ClassOne设备提供一个广泛的交钥匙解决方案,不仅可以包括工具备件,安装、服务、支持、保修、融资等等。
对EUV科技
成立于1997年,总部设在马丁内斯,加州EUV科技(euvtech.com)是全球领先的生产at-wavelength EUV计量工具。公司提供领先的解决方案使用极端的紫外线和软x射线技术推进半导体制造业和材料科学的前沿。公司研发和制造面具计量设备,使大批量生产使用EUV光刻。他们的系统包括EUV反射计、EUV薄膜工具,EUV阶段计量工具,和EUV掩模成像工具。