东京，12月1日，2022年(GLOBE NEWSWIRE) -领先的半导体测试设备供应商Advantest公司(TSE: 6857)今天发布了E5620缺陷审查扫描电子显微镜(DR-SEM)，这是其最新的掩模SEM产品，用于审查和分类掩模和掩模坯料上的超小缺陷。凭借其高精度、高通量缺陷审查能力，E5620 DR-SEM预计将为下一代掩模的生产质量改进和更短的掩模制造周转时间做出显著贡献。

与其前身一样，E5620实现了Advantest的高度稳定的图像捕获技术，可以轻松地从掩模检测系统导入缺陷位置数据，并自动对位置进行成像。该系统有一些改进，专门针对未来的掩模需求。

“在与我们的客户合作，确定他们对未来EUV掩模检测和分析的需求时，我们确定了几个基本的进步，可以集成到我们经过验证的DR-SEM系统中，”优势纳米技术业务集团高级副总裁Toshimichi Iwai说。“通过E5620，我们的光刻专家团队创造了一种卓越的工具，可以处理当今的掩模，并真正为即将到来的EUV一代做好了准备。”

E5620主要新增特性

• 高空间分辨率
• 高度稳定，全自动图像捕捉
• 兼容掩模检测系统
• 元素成分分析选项
• 背散射电子分析选项

E5620 DR-SEM现已上市。在12月14日至16日于东京Big Sight举行的2022年SEMICON Japan期间，Advantest将分享其新款E5620 DR-SEM的更多细节。如需了解更多信息，请在展会期间亲临1549号展位。

关于Advantest公司
Advantest (TSE: 6857)是自动测试和测量设备的领先制造商，用于设计和生产应用于5G通信、物联网(IoT)、自动驾驶汽车、高性能计算(HPC)(包括人工智能(AI)和机器学习等)的半导体。其领先的系统和产品被集成到世界上最先进的半导体生产线。公司还进行研发，以应对新兴的测试挑战和应用;为晶圆分类和最终测试开发先进的测试接口解决方案;生产掩模制造所必需的扫描电子显微镜;并提供系统级测试解决方案和其他测试相关配件。爱德美于1954年在东京成立，是一家全球性公司，在世界各地设有工厂，致力于可持续发展实践和社会责任。更多信息请访问www.advantest.com．

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